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在工业领域中，一套完整的超声波清洁系统必须包括足够的冲洗槽以产生所需的清洁效果。冲洗水箱的数量越多，所需的水就越少。闭环去离子系统需要在最终的冲洗水箱中保持足够的纯度。每次将篮子从超声波清洗槽转移到冲洗槽时，清洗剂也会转移到冲洗液中，从而用清洁剂污染它，这将在部件上留下残留物。这就是为什么大多数工业超声波清洗系统中包括至少2个冲洗槽的原因。第一个漂洗槽可去除大部分洗涤剂残留物，从而防止其污染最终的漂洗槽。然后需要较少的水来维持最终漂洗槽中的水纯度。
大多数冲洗水槽系统包括反向级联溢流功能。最纯净的水供应添加到冲洗水箱。然后，该冲洗槽溢流到冲洗槽中，然后溢流槽排出或排入另外的冲洗槽。该技术有两个主要目的;确保最终的冲洗水槽含有最纯净的可用水供应，并减少用水量，因为两个水槽共用同一水源。漂洗槽的数量越多，在最终漂洗中保持足够水质所需的纯水量就越少。
在许多情况下，超声波清洗系统被添加到主要或最终的漂洗槽中以改善漂洗。毕竟，漂洗过程的主要功能是去除超声波清洗槽中使用的清洁剂。当被处理的部件具有可能捕获洗涤剂的细节时，超声波系统可以有益于去除这些污染物。然而，在去离子水中超声波洗涤作用大大降低，因为水的表面张力很大，以至于难以产生超声空化。尽管在去离子水冲洗槽中发生功率损失，但可用的擦洗操作足以确保部件被充分冲洗。
清洁/冲洗/干燥系统的其中一个选项是自动冲洗水质系统，该系统可持续监控最终冲洗水箱中的水质。当水质低于可接受的值时，将纯水加入冲洗槽中直至水质可接受。当包括多个冲洗槽时，多余的水溢流到邻近的冲洗槽中，或者如果包括单个冲洗槽则排出。该选项将大大减少去离子水的消耗。
